Kontroll automatik i temperaturës dhe lagështisë
Temperatura dhe lagështia e dhomës së pastër përcaktohen kryesisht sipas kërkesave të procesit, por me kusht që të plotësohen kërkesat e procesit, duhet të merret parasysh komoditeti i njeriut.Me rritjen e kërkesave për pastërtinë e ajrit, ka një tendencë që procesi të ketë kërkesa gjithnjë e më të rrepta për temperaturën dhe lagështinë.
Ndërsa saktësia e përpunimit po bëhet gjithnjë e më e imët, kërkesat për diapazonin e luhatjeve të temperaturës po bëhen gjithnjë e më të vogla.Për shembull, në procesin e ekspozimit të litografisë të prodhimit të qarkut të integruar në shkallë të gjerë, diferenca midis koeficientit të zgjerimit termik të qelqit dhe meshllës së silikonit si material i diafragmës kërkohet të jetë gjithnjë e më i vogël.Një meshë silikoni me diametër 100μm do të shkaktojë një zgjerim linear prej 0.24μm kur temperatura rritet me 1 gradë.Prandaj, duhet të ketë një temperaturë konstante prej ±0,1 gradë.Në të njëjtën kohë, vlera e lagështisë përgjithësisht kërkohet të jetë e ulët, sepse pasi një person djersitet, produkti do të ndotet, veçanërisht Për punishtet gjysmëpërçuese që kanë frikë nga natriumi, kjo lloj punishteje e pastër nuk duhet të kalojë 25 gradë.
Lagështia e tepërt shkakton më shumë probleme.Kur lagështia relative kalon 55%, do të ndodhë kondensimi në murin e tubit të ujit ftohës.Nëse ndodh në një pajisje ose qark preciz, do të shkaktojë aksidente të ndryshme.Është e lehtë të ndryshket kur lagështia relative është 50%.Përveç kësaj, kur lagështia është shumë e lartë, pluhuri në sipërfaqen e vaferës së silikonit do të absorbohet kimikisht nga molekulat e ujit në ajër në sipërfaqe, gjë që është e vështirë të hiqet.Sa më e lartë të jetë lagështia relative, aq më e vështirë është heqja e ngjitjes, por kur lagështia relative është më e ulët se 30%, grimcat gjithashtu absorbohen lehtësisht në sipërfaqe për shkak të veprimit të forcës elektrostatike dhe një numri të madh gjysmëpërçuesish. pajisjet janë të prirura për prishje.Gama më e mirë e temperaturës për prodhimin e meshës së silikonit është 35~45%.
